你这里所说的“不同”，是不是指管式和板式的差别呢？管式PECVD的工艺原理是通过低压气氛的射频放电产生等离子体，辅助以加热系统，从而在wafer表面沉积镀膜；而板式PECVD则是通过石英管保护的铜管，将微波导入工艺腔室，从而加热气体等离子，最后实现在wafer表面沉积薄膜的目的。